Přejít k obsahu

Laboratorní vybavení

Výzkumný tým disponuje v nové budově centra NTIS několika špičkovými laboratořemi vysoké mezinárodní úrovně pro intenzivní a systematický výzkum v oboru fyziky plazmatu a plazmových technologií. Jedná se celkem o 14 laboratoří o celkové ploše cca 540 m2, jejichž vybavení zahrnuje především 14 vakuových depozičních zařízení pro vytváření tenkovrstvých materiálů a modifikaci povrchů v elektrických výbojích různého typu, 8 systémů pro komplexní diagnostiku výbojového plazmatu a 22 moderních analytických přístrojů pro komplexní charakterizaci vytvořených vrstev. Více naleznete v sekci laboratorní vybavení.

 

Multifunkční depoziční systém pro magnetronové naprašování

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Balzers BAS 450 PM Cryo

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Depoziční systém s duálním magnetronem

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Depoziční systém s duálním magnetronem

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Depoziční zařízení s duálním magnetronem

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Vakuové zařízení pro magnetronové naprašování

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Depoziční zařízení s rotačním stolkem

 

Patička